7 나노 EUV 썸네일형 리스트형 삼성의 엑시노스, 퀄컴의 스냅드래곤 그리고 7나노 EUV (2) - 삼성전자의 7나노 EUV https://youtu.be/H6nRBpTFKeQ 유튜버 가젯서울 / 고품격 IT소식을 원하신다면 "가젯 서울" 구독 부탁드립니다. 우선 잠시 초기에 EUV 공정이 가진 생산성에 대한 이야기를 하고 오면 좋을 것 같습니다. 먼저 노광공정과 관련해 웨이퍼 위의 레이어에 미리 회로패턴을 새겨놓고 EUV를 패턴이 그려진 레이어 위에 쪼여 웨이퍼에 회로가 그려지게 되는 그런 구조입니다. 이때 회로의 패턴이 새겨진 레이어를 마스크라고 합니다. 문제는 이 노광공정을 단 하나의 이물질도 없는 완벽한 무의 상태에서 진행되는 것은 아니기 때문에 이물질이 들어오게 됩니다. 그렇게 되면 우선 마스크가 오염이 되고 결국 웨이퍼에 맺히는 패턴에도 오류가 생기게 됩니다. 이와 .. 더보기 이전 1 다음
